模具热处理变形是模具处理过程的主要缺陷之一，对一些精密复杂模具，常因热处理变形而报废，因此控制精密复杂模具的变形一直成为热处理生产中的关键问题。

　　预防措施粗加工后、半精加工前应进行一次去应力退火，即(630-680)℃×(3-4)h炉冷至500℃以下出炉空冷，也可采用400℃×(2-3)h去应力处理。

　　对精密复杂模具可采用时效硬化钢，如PMS(1Ni3Mn2CuA1.Mo)钢是一种新型时效模具钢，在870C固溶淬火后的硬度在30HRC左右，便于机械加工，模具加工成型后再进行500C左右的时效热处理，即可获得40HRC~45HRC的较高硬度，模具变形较小，只需要进行抛光处理，是理想的精密复杂模具用钢。

　　另外，正确的热处理工艺操作(如堵孔、绑孔、机械固定、适宜的加热方法、正确选择模具的冷却方向和在冷却介质中的运动方向等)和合理的回火热处理工艺也是减少精密复杂模具变形的有效措施